微机电系统工程专业在光、机、电技术一体化方面的优势和研究成果为微机电系统技术方面的研究和发展打下了坚实的基础。本系在微纳米和微机电系统如微泵、微传感器、微加速度计等一系列微器件的设计、制造、工艺、测试以及基础理论等方面进行了深入的研究,其它的研究领域还有:微陀螺和微惯导系统、微光学器件、微测量技术、小飞机、小卫星和微米卫星、纳米摩擦学以及光盘机读写头微型机构等。
微机电系统工程专业是以机、电技术,尤其是微机械为基础的,综合多种学科领域技术的新型交叉学科。主要培养从事微机电系统工程方面的设计制造，生产运行?科技开发和技术经济管理方面的人才。
微机电系统工程专业学生主要学习微机电系统工程的基本知识、基础理论和研究方法；了解微机电系统工程发展方向；具有从事实际工作的基本能力。
该专业对物理科目要求较高。该专业适合对机电、现代精密技术有兴趣的学生就读。
车辆工程、集成电路工程、精密仪器及机械、机械工程
该专业毕业后毕业生能从事微机电系统工程方面的设计制造、生成运行、科研开发和技术经济管理方面的工作。该专业方向的人才需求虽然大，但可供选择的人也很多，如果没有非常强的综合素质，很难在众人之中脱颖而出，取得突出成绩。该专业适合升学考研。
苑伟政、汪劲松、乔大勇等。